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產(chǎn)品資料
非接觸光學(xué)表面曲翹度測(cè)量?jī)x
簡(jiǎn)介：

CT 300是一臺(tái)非接觸式的光學(xué)表面測(cè)量?jī)x，具備高達(dá)315毫米的X/Y運(yùn)動(dòng)行程。它可以處理*大12英寸的晶圓或其他大型樣品。使用白光傳感器和高達(dá)20 kHz的數(shù)據(jù)收集率，檢測(cè)效率大大提高。共焦顯微鏡和三維白光干涉儀傳感器在z方向上提供****的分辨率，低至0.1納米。
產(chǎn)品詳情

設(shè)備特點(diǎn)：

多CHR白光共聚焦傳感器，采樣頻率4kHz – 20kHz

可實(shí)現(xiàn)組合式測(cè)量

*大315mm x 315mm掃描范圍

分辨率低至3nm，測(cè)量范圍*高可達(dá)25mm

適用領(lǐng)域：厚膜印刷電路，混合電路(Hybrid Circuit)、BGA、TAB 及 FLIP/CHIP厚度測(cè)量，PCB基板形變量，半導(dǎo)體元件及晶圓平整度、曲翹度，銅箔厚度及粗糙度，封裝凸塊檢測(cè)。

 


應(yīng)用案例：

1、LED器件的幾何形狀測(cè)量

 


2、晶圓的平整度測(cè)量

 


3、光學(xué)器件的表面粗糙度測(cè)量

 


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