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產(chǎn)品資料
MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
簡(jiǎn)介:

產(chǎn)品詳情

    
       左文科技的核心競(jìng)爭(zhēng)力是依托于其**的MPCVD設(shè)備技術(shù)與持續(xù)的科研**能力,設(shè)備采納了行業(yè)前沿的技術(shù)與工藝,注重對(duì)金剛石材料生長(zhǎng)過程的一致性和重復(fù)性的精準(zhǔn)把控,從而確保設(shè)備的**性能和金剛石的優(yōu)良品質(zhì)。自創(chuàng)立之初,我們便專注于碟形腔MPCVD設(shè)備的研發(fā)與量產(chǎn)化進(jìn)程,歷經(jīng)五年時(shí)光與上百臺(tái)設(shè)備的持續(xù)生產(chǎn)驗(yàn)證及迭代升級(jí),如今在2.45GHz頻段已成功量產(chǎn)6kW、10kW及15kW的MPCVD設(shè)備,并正積極測(cè)試915MHz頻段的大功率設(shè)備。

        在金剛石材料工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域,左文科技憑借深入的研究與實(shí)踐,開發(fā)出了一系列適應(yīng)于刀具、熱沉片、光學(xué)窗口、半導(dǎo)體材料等多個(gè)領(lǐng)域的先進(jìn)應(yīng)用工藝。

        在金剛石材料珠寶應(yīng)用領(lǐng)域,我們目前能夠量產(chǎn)20克拉以上的無色、藍(lán)色、粉色及黃色等多種顏色的裸鉆,毛坯尺寸覆蓋7mm×7mm至20mm×20mm,重量則從4克拉跨越至30克拉,并正致力于50克拉鉆石毛坯的量產(chǎn)化工藝開發(fā)。



應(yīng)用領(lǐng)域:

  • 珠寶級(jí)鉆石
  • 功率半導(dǎo)體
  • 復(fù)合熱沉片
  • 精密刀具刀頭
  • 高純度電化學(xué)電極
  • 紅外光學(xué)窗口
  • 量子傳感器/NV色心量子器件
  • 高增益激光器
  • 納米金剛石材料
  • 第四代半導(dǎo)體材料

系統(tǒng)參數(shù)

 

型號(hào)

ZW-06SA-6KW

ZW-10MKS-10KW/15KW

微波電源功率

2.45GHz  6KW

2.45GHz 10KW/15KW

反應(yīng)腔

掀蓋式鋁制碟形腔

掀蓋式鋁制碟形腔

輸入氣路

標(biāo)準(zhǔn)四路氣路(可選配加裝至六路)

標(biāo)準(zhǔn)四路氣路(可選配加裝至六路)

生長(zhǎng)臺(tái)類型

水冷式不銹鋼生長(zhǎng)臺(tái),銅散熱底盤

水冷式不銹鋼生長(zhǎng)臺(tái),銅散熱底盤

襯底沉積臺(tái)

*大支持2.36英寸、60mm直徑圓臺(tái)面 積穩(wěn)定沉積

*大支持3.15英寸、80mm直徑圓臺(tái)面積 穩(wěn)定沉積

系統(tǒng)真空密封性

(氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè))

真空度(氦檢)<5x10`Pa.m3/sec

真空度(氦檢)<5x101Pa.m3/sec

真空泵類型

真空油泵18m3/h(50hz)(選配)

真空油泵18m3/h(50hz)(選配)

工作壓力范圍

工作作壓力:10-300Torr

工作作壓力:10-300Torr

溫度計(jì)

雙波紅外溫度計(jì)(500-1475℃),可選紅外 成像溫度計(jì)

雙波紅外溫度計(jì)(500-1475℃),可選紅外 成像溫度計(jì)

控制系統(tǒng)

PLC控制系統(tǒng),自動(dòng)控制人機(jī)交互操作界面

PLC控制系統(tǒng),自動(dòng)控制人機(jī)交互操作界面

觀察窗

標(biāo)配兩個(gè)側(cè)觀察窗, 一個(gè)頂觀察窗

標(biāo)配兩個(gè)側(cè)觀察窗, 一個(gè)頂觀察窗

輸入電源

380V,三相五線

380V,三相五線

輸入水壓及流量

水壓小于5bar,流量6L/M以上

水壓小于5bar,流量9L/M以上

系統(tǒng)設(shè)備尺寸

系統(tǒng)設(shè)備尺寸160cmx90cmx100cm

系統(tǒng)設(shè)備尺寸160cmx90cmx100cm

重量

350KG

400KG




設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◆超過1萬小時(shí)的生產(chǎn)運(yùn)行,三年批量用于生產(chǎn)驗(yàn)證,可量 產(chǎn)白色及彩色鉆石的粗坯

◆反應(yīng)可控,起輝位置固定,穩(wěn)定輸出功率

◆等離子體遠(yuǎn)離石英窗口

◆采用不銹鋼臺(tái)及銅散熱底盤,可耐高溫

◆銅底盤沉積物更容易清理

◆采用水冷高效散熱設(shè)計(jì),*大散熱功率達(dá)12KW

◆高可靠性,高實(shí)驗(yàn)重復(fù)性,高耐久性

◆可高度自動(dòng)化控制的軟件系統(tǒng)

◆采用上掀蓋設(shè)計(jì),易于清洗及快速二次生長(zhǎng)




系統(tǒng)特點(diǎn):

◆穩(wěn)定的沉積面積,鉬生長(zhǎng)臺(tái)直徑50-80mm

◆支持微波電源功率6KW/10KW/15KW

◆使用純凈石英窗口

◆采用不銹鋼臺(tái),可耐高溫

◆高壓力控制,可產(chǎn)生高密度單模式等離子體

◆使用高精度氣體質(zhì)量流量計(jì),高可靠性穩(wěn)定的壓力控制系統(tǒng)

◆穩(wěn)定的微波源輸入,包括 Sairem,Mugee,MKS   Instrument 等電源

◆可采用電機(jī)升降及功率壓力比例智能自動(dòng)控制生長(zhǎng)溫度

◆具有**互鎖機(jī)制,可自動(dòng)觸發(fā)并處理風(fēng)險(xiǎn)



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