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產(chǎn)品資料
氣相沉積設備ATS500
簡介：

ATS500是一款靈活的電子束蒸發(fā)物**相沉積系統(tǒng)，適用于研發(fā)和生產(chǎn)。
產(chǎn)品詳情

ATS 500設計用于OLED、有機電子應用、光伏、半導體器件、透鏡和光學濾波器的研發(fā)和小批量生產(chǎn)。

系統(tǒng)特色是配有全彩觸摸屏的PLC，集成了工藝菜單控制和數(shù)據(jù)記錄功能，可以選配全電腦控制。


ATS 500提供廣泛的工藝選項，包括：


  • 熱阻蒸發(fā)源。
  • 溫度控制蒸發(fā)源，用于OLED和有機光伏應用。
  • 電子束蒸發(fā)源，用于高速率蒸發(fā)。
  • 離子束輔助，用于光學應用或者基板清洗。
  • DC、RF和脈沖DC源，用于金屬和電解質向上或者向下的濺射工藝。
  • 以上兩
    個或者多個功能的混合系統(tǒng)


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